痛点问题 | 新能源行业存在发展迅猛与安全监测能力不足的矛盾，电池热失控引发的安全问题愈发突出。目前对于电池及储能系统的安全监控技术仍旧基于BMS（Battery Management System）中对于电池电流电压的监控，这种监控往往时效性欠佳，且容易误判。 |
项目简介 | 项目拟实现从仪器设备（敏感材料沉积系统，传感器性能测试系统）到传感器开发的全链路安全监测传感器的研发，融合先进的半导体微纳加工技术等实现低成本、高灵敏度以及具有早期预警能力的新能源安全监测传感模组的制备，具有较强市场前瞻性与竞争力。 |
负责人简介 | 项目负责人王琮是哈工大教授/博导，主要从事传感器研发、微纳加工与芯片封装等研究工作，有19年微纳加工及芯片开发经验，设计的芯片超过20款已量产。授权发明专利64件，转化4件，在审发明专利20件，实用新型专利2件；在IEEE Trans等国际权威期刊发表SCI论文144篇，出版学术专著3部。在电子器件设计与建模、半导体器件加工以及无线射频技术在传感研究等前沿方向取得了一系列具有国际影响的成果。开创了以超小型射频器件为研究基础的射频传感器设计新方向，攻克了射频传感器不可重复利用等关键技术难点，加速了材料科学与射频技术、半导体加工领域的融合。 |
主要产品 | 核心产品1：温湿度传感器元件、模组及测试系统 温湿度传感器元件：将自主研发的感湿薄膜涂覆至电极表面，并采用先进的双面微纳加工手段，在同一基板上实现了温/湿度传感器一体化制备。 温湿度传感器模组：模组包含温度敏感单元、传感器基本结构、封装结构以及信号采集传输端，利用不锈钢外壳进行封装，端头配备金属烧结过滤帽。 智能温湿度传感系统：该系统包括各类环境参数采集校正回路模块，可提供IoT智能温湿度传感器过滤器及探头解决方案。
核心产品2：氢气传感器 钯基MEMS氢气传感器：在具有间隙的柔性硅微柱阵列上采用掠入射沉积制备Pd合金薄膜，通过Pd吸氢膨胀（仅对氢气响应），实现了氢气的超快泄露检测。 金属氧化物氢气传感器：通过PVD制备方法在微热板基底上制备了WO3多孔氢敏薄膜，实现了不同浓度氢气的高效检测，响应时间仅为1 s左右，且响应幅值高。
核心产品3：应力传感器 柔性电容式应力传感器：运用新型功能材料、纳米科技和先进的模板热压技术，突破了微弱应力信号监测难的应用技术瓶颈，传感响应/恢复时间比目前市场上传统的压力传感器提高5倍以上。
核心产品4：传感器性能标定系统 复杂气氛控制及多模态气体传感器标定系统：研发了一系列从气源到气体置换再到测试信号提取以及批量测试的成套技术，可以实现环境参量的高精度模拟、高精度电流测试、光电同步测试、批量传感器老化同步测试等。
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联系方式 | 冀老师13002207087 郭老师13162298627 |
文稿：洪森、孙頔、陈星任；编辑、审核：范文青
