合作案例丨光学元件损伤在线检测系统

发布时间:2024-10-16浏览次数:10

适用场景:精准检测光学元件损伤情况

技术领域:装备制造、测量与检测

案例简介

痛点问题

某高能激光相关大科学工程中,高能激光导致光学元件表面出现损伤,微小损伤若不及时探测,将造成不可修复损失。但是光学元件数量多、口径大、距离远、损伤尺寸小,其损伤检测被美国NIF评价为灾难性难题。

解决方案

团队提出了多自由度光学元件损伤在线检测装置、内全反射暗场照明方法、光学元件损伤分类方法、损伤尺寸定量检测方法等,帮助甲方单位实现光学元件损伤的在线检测,为大科学工程的安全可靠运行提供保障。


案例亮点/优势

团队研制了光学元件损伤在线检测系统,已稳定运行超过5年。该系统可实现亚像素级损伤识别,损伤识别率优于99%,真伪损伤分类精度优于97%,损伤尺寸测量误差低于10%

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文稿:光电测量与控制团队秦杨一;编辑:陆峰;审核:范文青

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